电感测微仪的工作原理及应用设计

电感测微仪的工作原理及应用设计

电感测微仪是一种能够测量微小尺寸变化的精密测量仪器，它由主体和测头两部分组成，配上相应的测量装置（例如测量台架等），能够完成各种精密测量。

被广泛应用于精密机械制造业、晶体管和集成电路制造业以及国防、科研、计量部门的精密长度测量。目前，国内常用的电感测微仪有指针式和数字式两种，存在的问题较多，如高精度测量范围小，零位调节不方便、功能单一和通用性差等。它通过编制软件实现仪表的高精度、智能化、多功能化，经过反复的实验与使用，已证明其精度高、操作方便、性能稳定。

⑴在运算放大器的选择上，本仪器均采用低漂移、低噪声的运算放大器OP07.由OP07组成了集成化的交、直流放大器电路，双T网络正弦波发生器，集成的相敏检波电路和滤波器等，省去了传统电感测微仪使用的二极管、三极管和变压器等，使得由二极管和三极管造成的非线性特性以及饱和压降和反向电流得以改善；省去变压器，调试制作比较方便，重量也较轻，可靠性增强。

⑵本仪器选用了逐次比较式12位A/D转换器AD574，它的非线性误差小于±1/2LBS或±1LBS，一次转换时间约为25μs ，因其片内配有三态输出缓冲器，可直接与各种典型的8位和16位微处理器相连，满足了测量精度和实时显示的要求，应用非常方便。

⑶本仪器采用了专业的显示器及键盘接口芯片8279，单个芯片就能完成键盘输入和LED显示控制两种功能，显示方式为动态显示，6位LED显示器可以实现显示测量结果。整机设有5个功能键，能够实现如下功能：显示被测工件的峰值，并把峰值存入数据存储器，留待处理；可以进行统计分析，显示一百个工件分组后各组的平均值和极值，直方图的频数，总平均值和极值；可以进行绝对测量和相对测量的转换；可以设定被测工件的上、下偏差，当被测工件的峰值超出设定值时，就要报警显示；可以实现±500μm和±30μm档的转换。

此智能电感测微仪在设计上充分利用了单片机的系统功能，增加了统计分析、超差报警、绝对零点与相对零点的转换等功能，使仪器的性能有了较大的提高；采用单片机8031进行数据处理，用软件进行非线性修正，使高精度测量范围成倍扩展，用软件进行绝对零点与相对零点的转换，零位调节简单方便，功能扩展除了增加少量接口芯片外，主要由软件实现；硬件电路中，前向通道电路采用了集成电路，克服了以往采用变压器、二极管、三极管组成电路的非线性特性大、零漂严重等缺点；采用了切实可行的抗干扰措施，使整机测量精度高、可靠性好、稳定性好、抗干扰能力强。

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