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刻蚀机是芯片制造的关键装备之一中微突破了“卡脖子”技术 11 5纳米，相当于头发丝直径(约为0.1毫米)的二万分之一，将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。最近，中微半导体设备(上海)有限公司收到一个好消息：其自主研制的...

台积电集成电路芯片技术创新技术成果

2018-12-18 15:34

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