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为我国集成电路产业打下强芯剂,中试基地打通科研成果到产业化最后一公里

核心提示: 近年来,“中试基地”在力促创新的各地政策中出现的频率越来越高,也成为多地政府工作的重点。

近年来,“中试基地”在力促创新的各地政策中出现的频率越来越高,也成为多地政府工作的重点,例如北京经济技术开发区就提出要重点培育集成电路IP设计等10个产业中试基地。

为我国集成电路产业打下强芯剂,中试基地打通科研成果到产业化最后一公里0

由于科技成果与产业化市场“距离”甚远,中试基地便应运而生。中试基地可以对科技成果进行二次开发,并可模拟实际生产工况来验证,极大地促进科技成果向经济市场转化。甚至有数据显示,科技成果经过中试验证后,转化成功率可达50%~80%,而未经过中试基地验证的,其转化成功率低于30%。

我国中试基地起源于20世纪90年代初,当时主要依托科研院所成立,而后国家对中试基地的支持也扩展到了高校。当然,也有企业筹建的中试基地。中试基地一般包括场地和设备两大因素,场地包括技术研发平台、中试基地线、小规模生产厂房、孵化器平台等,设备包括实验设备、试制生产设备、在线检测设备等。集成电路领域,我国也有一些典型的中试基地案例。

上海微技术工业研究院

上海微技术工业研究院是由中国科学院上海微系统与信息技术研究所和上海市嘉定区人民政府于2013年联合成立的,目标是打造世界级传感器及超越摩尔领域新型研发机构并培育物联网技术产业群,集研发、工程、孵化于一体,为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。

2017年9月,由上海微技术工业研究院建设的8英寸超越摩尔研发中试线正式启动,当年12月成功通线,首款传感器产品获得验证通过。该中试线填补了我国微机电系统智能传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白,其前期产能为每月生产3000片左右晶圆,后期将达到5000片。

据悉,目前运动传感器、声学传感器、环境传感器以及生物传感器是工研院现阶段聚焦的主要方向。未来,将重点布局硅光技术等领域。

第三代半导体材料及应用联合创新基地

2016年可谓是我国第三代半导体产业发展“元年”,而其标志性事件便是北京第三代半导体材料及应用联合创新基地动工和第三代半导体南方基地落户广东。

可见,第三代半导体材料及应用联合创新基地对于我国第三代半导体产业而言意义深刻。

第三代半导体材料及应用联合创新基地于2015年4月发起设立, 2016年7月20日在中关村顺义园启动建设,总投资超10亿元,将建设第三代半导体工艺、封装测试、可靠性检测、科技服务等基础平台,建设主体为国家半导体照明工程研发及产业联盟与顺义区政府。据悉,该基地已于2018年12月竣工,2019年将投入使用。

第三代半导体材料市场前景广阔,是北京布局高精尖产业的重要内容,更是顺义确定发展的三大创新型产业集群之一。近年来,顺义区围绕加快第三代半导体产业发展做出了深度布局,而第三代半导体材料及应用联合创新基地便是布局中的重要一环。

北京第三代半导体材料及应用联合创新基地与第三代半导体南方基地还存在一定的差异。北京基地重点打造集研发中试平台、产业服务平台、产业基金和园区建设为一体的产业创新生态系统;南方基地的建设是以“研究院公司+研究院+产业园区+产业基金”模式建设全产业链生态创新体,完全以市场化为导向。

国家专用集成电路系统工程技术研究中心中试基地

国家专用集成电路系统工程技术研究中心(国家ASIC工程中心)组建于1992年,由教育部、江苏省科技厅主管,设有专用集成电路实验室、江苏省产业技术研究院专用集成电路技术研究所及中试基地。

该中心的成果转化中试基地是江苏东大集成电路系统工程技术有限公司,该公司成立于2002年,以IC设计、嵌入式系统设计为核心,致力于掌握嵌入式系统的核心技术和提供自主知识产权的信息终端产品与解决方案,产品涉及金融支付产品、移动信息终端产品以及集成电路设计服务。

2009年5月,工程中心成立国家ASIC工程中心(无锡),无锡中心由5个关键共性技术研发实验室及中试基地(无锡东集电子有限责任公司)组成,实验室面向SoC领域开展关键共性技术研发,中试基地开展技术成果的中试及自主转化。

苏州纳米城

苏州纳米城英文名为“Nanopolis Suzhou”,位于苏州工业园区金鸡湖大道99号,占地约100公顷,规划建筑面积150万平方米,目前是全球最大的纳米技术应用产业综合社区,也是国家纳米技术国际创新园、国家纳米高新技术产业化基地的核心区域。

数据显示,苏州纳米城入驻企业已超300家,形成了纳米新材料和MEMS两大企业集群,在MEMS、氮化镓材料、激光器、LED、印刷电子、微纳柔性制造等多个领域实现了国际一流、国内领先的核心关键技术的突破。

苏州纳米城由苏州纳米科技发展有限公司建设与管理,集“创新研发、工程化中试、小规模生产、成果转化、专利运营、产业服务、总部办公、会议展示、综合配套”等产业功能于一体。

苏州纳米科技发展有限公司旗下全资子公司MEMS RIGHT拥有6英寸微纳机电制造(MEMS)中试平台,这是我国首条工业级、市场化、全开放运营的中试线,能够为中小MEMS企业成长提供助力。

最近刷屏的“新型仿生柔性传感器研发获新突破”就源自于苏州纳米城的一家企业——能斯达。汉威科技子公司能斯达由中国科学院苏州纳米所研究员张珽博士创立,致力于柔性压力传感器的研发和产业化,开创了国内柔性智能感知技术和印刷电子的领先品牌,公司将柔性感知传感器与智能终端紧密结合,打造了柔性传感智能化平台。

国家02专项光刻机浸液系统研制与中试基地

2018年,国家02专项光刻机浸液系统研制与中试基地项目签约落户浙江杭州青山湖微纳智造小镇。该项目致力于研发浸没式光刻机的核心部件之一浸液系统。

浸液系统是浸没式光刻机四大核心部件之一,是光刻机突破物理极限向更小技术节点发展的标志性技术。目前,国际上有拥有浸液系统技术的厂商寥寥无几,仅有荷兰ASML、日本Nikon等。

所谓02科技重大专项,即为“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”专项。浸液系统项目是浙江在02重大专项光刻机研发任务中承担的体量最大、技术最尖端的研发项目。该项目有望打破国外垄断,打造拥有自主知识产权的高端光刻机设备,甚至对于我国芯片产业发展都具有重大意义。

当然,随着不同领域、不同规模的中试基地在我国相继而生,中试基地也暴露出金融服务体系不健全、信息对接不畅通等问题。不过随着“中试基地”被写进各地政策,受重视度越来越高,这些情况也将得到改善。

此外,还有一大批中试基地在“路上”,例如2018年江苏表示将筹建集成电路工艺研究所,该研究所希望通过构建一个8英寸的中试线制造平台,来带动江苏省集成电路产业发展,孵化自己的台积电。(文章转载自百家号,版权归原作者所有)

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